简介：光学显微镜（OpticalMicroscope）是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，以供人们提取微细结构信息的光学仪器。
分类：按观察对象可分为生物和金相显微镜等。
组成：物镜、目镜、反光镜和聚光器。
原理：利用凸透镜的放大成像原理，将人眼不能分辨的微小物体放大到人眼能分辨的尺寸，其主要是增大近处微小物体对眼睛的张角（视角大的物体在视网膜上成像大），用角放大率M表示它们的放大本领。
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简介：粗糙仪是检测物体表面粗糙程度的仪器。
测量方法：光波干涉法、针描法、与粗糙样板比较法、光切法。
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简介：分析多孔材料比表面积，孔型，孔径，孔分布等。
测量方法：连续流动法、直接对比法、多点BET法、静态容量法。
应用：催化、粉体制备等领域。
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简介：压汞仪用来测定粉末和固体重要的物理特性。
原理：汞对大多数固体材料具有非润湿性，需外加压力才能进入固体孔中，对于圆柱型孔模型，汞能进入的孔的大小与压力符合Washburn方程，控制不同的压力，即可测出压入孔中汞的体积，由此得到对应于不同压力的孔径大小的累积分布曲线或微分曲线。
应用：适用于粉末或多孔材料的孔径分布、孔体积、比表面积、堆积密度、表观密度、孔隙度、颗粒分布及相关特性的测试。
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简介：激光粒度仪是专指通过颗粒的衍射或散射光的空间分布（散射谱）来分析颗粒大小的仪器。
分类：静态激光、动态激光、光透沉降。
原理：根据颗粒能使激光产生散射这一物理现象测试粒度分布。
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简介：激光扫描显微镜（confocal laserscanning microscopy），可通过彩色处理系统获得与电子扫描显微镜相媲美的图像，实现非接触式3D测量。激光共聚焦显微镜以1nm 分辨率的良好口啤，能进行远远优于传统的高精度测量。
原理：利用激光束经照明针孔形成点光源对标本内焦平面的每一点扫描，标本上的被照射点，在探测针孔处成像，由探测针孔后的光电倍增管（PMT）或冷电耦器件（cCCD）逐点或逐线接收，迅速在计算机监视器屏幕上形成荧光图像。
应用：高度、宽度和横截面测量、线条粗糙度测量、体积测量、自动宽度测量、轮廓比较测量、2D + 3D 测量等。
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简介：扫描电镜（Scanning electronmicroscope）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性形貌观察手段，利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
组成：电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统、电源系统。
原理：用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大成像。
应用：表征断口形貌、表面显微结构、薄膜内部的显微结构等。
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简介：透射电子显微镜（Transmissionelectron microscope）是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。
组成：照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统。
原理：高能电子束穿透试样时发生散射、吸收、干涉和衍射，使得在相平面形成衬度，显示出图象。
应用：表征晶体形貌、分子量分布、微孔尺寸分布、多相结构、晶格与缺陷等。
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简介：原子力显微镜（atomic force microscope）可以高分辨表征各种样品的表面形貌，可以分析与作用力相对应的各种表面性质，另外利用针尖可以操纵原子和进行纳米加工。
组成：带针尖的微悬臂、微悬臂运动检测装置、监控其运动的反馈回路、使样品进行扫描的压电陶瓷扫描器件、计算机控制的图像采集、显示及处理系统。
原理：利用光学检测法或隧道电流检测法，测得微悬臂对应于扫描各点的原子间作用力及位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。
应用：可以在大气和液体环境下对各种材料和样品进行物理性质包括三维形貌的探测分析、直接进行纳米加工。
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简介：俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy)是一种利用高能电子束为激发源，聚焦在小块表面形貌上的表面分析技术。
组成：电子光学系统、电子能量分析器、样品安放系统、离子枪、超高真空系统。
原理：原子内某一内层电子被激发电离从而形成空位；一个较高能级的电子跃迁到该空位上；再接着另一个电子被激发发射，形成无辐射跃迁过程，被发射的电子称为Auger电子；俄歇电子能谱仪通过分析Auger电子的能量和数量，信号转化为元素种类和元素含量。
应用：缺陷分析、颗粒分析、表面分析、小面积深度剖面、薄膜成分分析等。
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简介：三维原子探针显微术（3D Atom probe）是一种定量材料显微分析仪器，通过对不同元素的原子逐个进行分析，可绘出样品中不同元素的原子在纳米空间中的分布图形。
原理：基于“场蒸发”原理，三维原子探针通过在样品上施加一个强电压脉冲或者激光脉冲，将其表面原子逐一变成离子而移走并收集。
应用：Cottrell气团、界面原子偏聚、弥散相的析出、非晶晶化时原子扩散和晶体成核过程，合金元素在纳米晶材料不同相界面上的分布等。
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简介：扫描三维表面轮廓仪(3D scanner) 是一种科学仪器，用来侦测并分析现实世界中物体或环境的形状（几何构造）与外观数据（如颜色、表面反照率等性质）。
应用：三维表面轮廓测量、粗糙度测量、膜的台阶高度测量、空间分析和表面纹理表征、曲率测量、二维薄膜应力测量、表面质量和缺陷检测等。
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