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微米级别缺陷检测分析利器 | 超声显微镜

   日期:2025-04-02     来源:多浦乐    浏览:53    评论:0    
核心提示:超声显微镜(SAM)是一种利用高频超声波探测样品内部结构的无损检测设备‌。其原理基于压电换能器发射超声波,经声学透镜聚焦后通过耦合介质(如水)传递至样品,通过接收反射/透射信号生成图像,可分层显示微米级缺陷(如分层、裂纹、空洞等)‌。
超声显微镜(SAM)是一种利用高频超声波探测样品内部结构的无损检测设备‌。其原理基于压电换能器发射超声波,经声学透镜聚焦后通过耦合介质(如水)传递至样品,通过接收反射/透射信号生成图像,可分层显示微米级缺陷(如分层、裂纹、空洞等)‌。

该技术具有三大应用优势:

①‌ 微电子领域可非破坏性检测集成电路多层结构‌;

② 材料科学中无需抛光即可显示晶界等微观特征;

③ 生物医学领域可进行活体组织观察。

凭借其多样化的成像模式,能够深入物质内部,以微米级的分辨率揭示微观结构特征,为科研人员和技术人员提供了精准、详尽的分析依据。

超声显微镜工作原理

超声显微镜工作原理.png




超声显微镜检测的主要缺陷



超声显微镜检测主要缺陷.png



多浦乐超声显微镜

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多浦乐超声显微镜配备了先进的筛选功能,能够高效准确地定位并锁定待检测区域,极大地提升了检测效率与准确性。这一特性使得它能够在短时间内对多款同类产品进行批量扫查。

同时实现了智能计算与智能识别缺陷,快速自动抓取各种潜在的缺陷类型,如裂纹、夹杂物、孔隙等,为质量控制和故障预防提供了强有力的支持。这种智能化的检测方式不仅提高了检测的精确度,还显著降低了人为因素导致的误判率,为科研探索与工业生产带来了革命性的改变。


功能特点

多维成像,全面掌控:支持A、B、C、D、X等多种成像模式,精准呈现产品细节;数据标记与波形对比,实现缺陷的深度追踪与精准分析。

灵活跳跃,高效检测:自定义单个产品的非扫描区域,快速跳过无需测试部分,显著节约时间。

托盘扫查,一次搞定:支持托盘扫查,同时快速检测多个同类型产品,实现量产测试。

多种测量,精准评估:支持多达9种人工测量方式,包括点到点、平行宽度、多线段等,满足不同测量需求。

视觉智能,算法导入:支持基于机器视觉的图像评判算法导入,实现自动化缺陷识别与评定。

人工框定,智能计算:人工框定缺陷区域后,自动计算缺陷尺寸、面积与占比,简化分析流程。

图像导出,直观呈现:A、B、C、D扫支持导出PNG格式图像,清晰展示检测结果。

数据导出,格式丰富:A扫、C扫及原始数据支持Excel和点云格式导出,便于后续分析与应用。

规格参数:


1、超声与数字化:

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2、机械与运动

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3、扫描平台

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检测案例

01晶圆Wafer

晶圆键合技术在芯片制造中至关重要。超声显微镜通过高分辨率成像,检测键合界面中的空洞、裂纹及分层情况,提供全面的无损评估,帮助生产者优化工艺参数,确保高密度芯片的高良率生产。


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02IGBT   
IGBT模块作为功率电子核心组件,其焊层质量和内部结构直接影响车规级性能要求。超声显微镜可无损检测焊层空洞、分层及其他缺陷,精准评估关键风险,帮助制造商确保模块满足车规级高可靠性标准。


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03液冷散热器 Heatsink
液冷散热器广泛应用于新能源汽车和功率电子等领域,作为功率半导体模块的散热部分,其高效的热量传导可保证设备的稳定运行。超声显微镜能够精准检测液冷散热器中的缺陷,如焊接空洞和流道堵塞等,特别适用于真空回流焊或银烧结工艺中的质量控制,确保其在高负荷下的散热效能和可靠性。

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关于多浦乐

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广州多浦乐电子科技股份有限公司(股票代码:301528)成立于2008年,是一家专注于超声设备及超声换能器(探头)研发、制造的高新技术与国家级“专精特新”小巨人企业,致力于打造世界一流的无损检测品牌!

公司于2023年8月底成功登陆深交所创业板,被誉为“国内超声无损检测第一股”。

公司主营产品包括工业超声相控阵检测设备、自动化检测设备、超声换能器、定制化检测分析软件及其他检测配套零部件等,形成了从超声换能器、扫查装置等检测配件到各类型检测仪器,从便携式超声相控阵检测设备到自动化检测系统,涵盖各细分领域应用解决方案及培训服务的全链条业务体系,服务于特种设备、轨道交通、能源电力、钢铁冶金、航空航天、核电、新能源汽车、第三方检测机构和高等院校等领域。

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